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天燿股份有限公司

  • 公司電話 886-3-5181250
  • 地       址 新竹市香山區中華路六段61巷3號
  • 營業時間 早上8:30-下午5:30
  • 公司簡介 專注於半導體設備自動化設備技術之開發，為 SMIF 自動化設備之領導廠商之一

公司網站

天燿股份有限公司（由原台灣富創得工程(股)公司于2024年10月更名）成立於2008年。是一個具有自主IP產權的半導體設備研發、製造、銷售客服產品公司。公司提供3大產品路綫：（1）SMIF生產綫全自動密閉盒上下料load ports和物料管控ID（IR和RFID）自動化系統；（2）高精度無塵wafer robot和設備前端自動化系統（EFEM/Sorter）; (3)高溫無塵無氧晶圓烘烤箱（thermal curing oven）和批量生產自動化整合系統。

天燿股份有限公司SMIF上下料系統核心技術傳承於美國SMIF技術發明人 Fortrend Engineering，經過近20年的技術積累以及市場經驗，公司于2024年推出LPT+系列的全新200mm和300mm的SMIF load ports。在 wafer robot產品方面，公司也推出了全新的 Bravo系列robots，在產能、精度、穩定性、和無塵潔净度四方面，完美的提供目前市面上性價比最高的robot產品綫，也為公司提供的標準Sorter和客製化EFEM提供了更强大的市場競爭力。公司的FVO 烤箱系列，采用公司最新的多軸溫控技術，在(+60~450度) 的全程溫控範圍内，可以保證 (+/- 1%)設定溫度的溫控均匀度，并且在全程溫控範圍内保證優于Class-10的腔體内潔净度，提供了市場競爭的最高標準。公司的oven系統也因此贏得國內外先進晶圓廠訂單，成為三維積體電路(3DIC)高階封裝製程的設備的主流供應商。

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